往复真空泵主要用途有哪些?

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

3、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用往复真空泵;

5、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的往复真空泵可以满足要求。

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