共聚焦,显微镜,有什么优点?

1、高分辨率观察的显微镜,常规显微镜的分辨率0.35微米是极限,激光共聚焦显微镜的分辨率为0.1-0.2微米,所以在亚微米级观察上可以代替电子显微镜(无法做元素分析)。

2、高精度表面形态测量,检测细微表面的高度差异,线宽测量、体积、表面积,异物,杂质等的大小,表面粗糙度分析。

3、三维形貌显微镜。

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